Bomba de vacío seca

ULVAC Model LR600

Aquí ofrecemos una bomba de vacío seco ULVAC.
Bomba de vacío seco ULVAC
Solución para bombas de procesos exigentes
Bomba de vacío seco
El enfoque único de ULVAC para aprovechar el calor latente en el
cuerpo de la bomba permite que la serie LR/HR/UR
ofrezca un rendimiento incluso en los procesos más exigentes.
ULVAC ha centrado sus esfuerzos de diseño en mantener
una temperatura alta y extremadamente uniforme en todas las etapas de la bomba
y ha optimizado esta familia de bombas para aplicaciones de CVD y grabado.
Compatible con el sistema ECO-SHOCK de ULVAC para un ahorro de energía adicional.
Características:
La bomba de la serie LR está diseñada para cámaras de esclusa de carga y procesos PVD.
El diseño único de aluminio de ULVAC permite una distribución de temperatura muy uniforme en todo el cuerpo de la bomba:
La bomba de la serie ULVAC LR está diseñada para aplicaciones que requieren una bomba calentada, líneas de gas calentadas y/o líneas de escape calentadas.
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Excelente capacidad de bombeo de helio.
Motor encapsulado para mayor seguridad y facilidad de mantenimiento.
Resiste interrupciones de corriente de hasta 500 ms.
Los componentes internos están tratados especialmente para garantizar un alto grado de dureza superficial y una excelente resistencia a la corrosión.
Esto evita el desgaste de las piezas internas de la bomba cuando están expuestas a gases corrosivos.
(Serie LR)
Diseñada para gases de proceso que generan subproductos en forma de polvo, como hornos de crecimiento de cristales de silicio.
Bomba de pre-vacío para bombas turbomoleculares y bombas de aumento de presión mecánicas.
Tipo: LR600
Estado: nuevo
Alcance del suministro: (Ver imagen)
(Se reservan modificaciones e inexactitudes en las especificaciones técnicas).
Si tiene más preguntas, estaremos encantados de responderlas por teléfono.

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